微電子行業的生產加工離不開超純水的使用，微電子生產用超純水設備針對這一行業用水需求，采用反滲透和EDI相結合的制水工藝，有效去除水中的導電離子，電阻率可以達到18兆歐以上。

微電子生產用超純水設備工藝流程

1、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透設備→中間水箱→中間水泵→離子交換器→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點

2、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點

3、原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點

微電子生產用超純水設備技術優勢

1、CPUW核心超純水專用膜元件

2、CIP在線清洗消毒系統

3、GMP標準認證

4、POD水質在線檢測系統

5、PPH、PVDF潔凈管道設計工程師

當前題目：微電子生產用超純水設備優勢有哪些
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